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J-GLOBAL ID：200903071548914213

圧電/電歪アクチユエータ

Inventor： 武内 幸久 ,  木村 浩二
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社
Agent (1)： 中島 三千雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991204845
Publication number (International publication number)：1993049270
Application date： Jul. 19, 1991
Publication date： Feb. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 相対的に低駆動電圧で大変位が得られ、信頼性が高く、応答速度が速く、且つ発生力が大きく、また高集積化が可能で、インクジェットプリントヘッド等に好適に用いられる、強度に優れた圧電/電歪アクチュエータを提供すること。【構成】 セラミック基板と圧電/電歪駆動部とから形成されてなる圧電/電歪アクチュエータにおいて、セラミック基板22に、所定大きさの凹所が設けられていることにより、薄肉厚部22aが形成されていると共に、圧電/電歪駆動部(26,28,30)を、該セラミック基板22の薄肉厚部22aの面上に形成した。

Claim (excerpt)：

セラミック基板と圧電/電歪駆動部とから形成されてなる圧電/電歪アクチュエータにおいて、該セラミック基板に所定大きさの凹所が形成されて、該凹所の底部が薄肉厚部とされており、更に前記圧電/電歪駆動部が、該セラミック基板の前記薄肉厚部の面上に形成されていることを特徴とする圧電/電歪アクチュエータ。

IPC (2)：

H02N 2/00 ,  H01L 41/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-082598
  
• 特開平2-056990
  
• 特開昭58-078496
  
• 特開昭64-005372