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J-GLOBAL ID:200903071553659710

オゾン発生装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994180322
Publication number (International publication number):1996040706
Application date: Aug. 01, 1994
Publication date: Feb. 13, 1996
Summary:
【要約】【目的】 一対の電極間の間隙における放電集中を減少させ、放電を均一に分布させてオゾン生成効率を向上させる。【構成】 交流高圧電源4に接続された高電圧電極2と、接地電極3とを備えている。高電圧電極2の内面にセラミック板5が設けられ、このセラミック板5の内側面の平均表面荒さは、0.5μm以下となっている。
Claim (excerpt):
一対の電極と、この一対の電極に高電圧を印加する電源と、前記一対の電極の少なくとも一方の内面に設けられたセラミック板と、前記一対の電極間の間隙に酸素を含む原料ガスを送り込み、この間隙に生じるプラズマ化学反応により原料ガスからオゾンを発生させて排出するガス送風装置とを備え、前記セラミック板の内側面の平均表面荒さを0.5μm以下としたことを特徴とするオゾン発生装置。
IPC (2):
C01B 13/11 ,  H01T 23/00

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