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J-GLOBAL ID：200903071562129723

圧力安定化装置及びこの装置を備えた基板の電気特性測定装置

Inventor： 中谷 郁祥
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 小谷 悦司 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996259255
Publication number (International publication number)：1998107105
Application date： Sep. 30, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】 工場内等に設置されている圧力変動の大きな真空源の利用を可能とする。【解決手段】 圧力変動の大きな真空源42の負圧力をタンク361及び配管362,363から構成された圧力安定化装置36により圧力変動の小さな負圧力にしてステージ30に供給し、ステージ30上に載置されたシリコンウエハ10を真空吸着する。この状態で、センサ本体382をシリコンウエハ10に近接させると共に、シリコンウエハ10の表裏間にバイアス電圧を印加してセンサ本体382に形成されている電気特性測定用電極とシリコンウエハ10裏面との間の静電容量を測定し、シリコンウエハ10のC-V特性を求める。

Claim (excerpt)：

真空源の負圧力を配管を介して上記真空源よりも圧力値の安定した状態で被供給部に供給する圧力安定化装置であって、上記配管の途中に配設されたタンクと、このタンク内部の圧力変動を抑制する圧力制御手段とを備えたことを特徴とする圧力安定化装置。

IPC (6)：

H01L 21/66 ,  G01N 27/00 ,  G01N 27/22 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/302 ,  H01L 21/68

FI (7)：

H01L 21/66 Q ,  H01L 21/66 N ,  G01N 27/00 Z ,  G01N 27/22 Z ,  G01R 31/26 G ,  H01L 21/68 P ,  G01R 31/28 L