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J-GLOBAL ID：200903071563896728

炭化珪素セラミックス及びその製造方法

Inventor： 金井 恒行 ,  千葉 秋雄 ,  宮田 素之 ,  沢井 裕一 ,  安富 義幸 ,  前田 邦裕
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 鵜沼 辰之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996286495
Publication number (International publication number)：1998130056
Application date： Oct. 29, 1996
Publication date： May. 19, 1998
Summary：

【要約】【課題】 焼結後金属珪素が残留しておらず、中間温度域での耐熱性の劣化減少を生じない炭化珪素セラミックス及びその製造方法を得る。【解決手段】 炭化珪素と、炭素と、ポリカルボシラン又はポリチタノカルボシランを混合、成形、仮焼して仮焼結体として、この仮焼結体に溶融珪素を加熱、含浸させて焼結体を製造する。

Claim (excerpt)：

10nm乃至1,000nm程度の粒径の炭化珪素の結晶群とそれよりも大きな粒径の炭化珪素の結晶群とを有し、Si元素、C元素及びO元素により焼結体を構成する元素の99.9重量%以上が占められおり、かつ前記焼結体が遊離した原子状Siを実質的に含有していないことを特徴とする炭化珪素セラミックス。

IPC (3)：

C04B 35/571 ,  C04B 35/565 ,  C04B 41/88

FI (3)：

C04B 35/56 101 M ,  C04B 41/88 U ,  C04B 35/56 101 N