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J-GLOBAL ID：200903071577487936

基板上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着する方法

Inventor： フレデリック・デニス・ベイリィ ,  ダグラス・アンドリュー・バッハナン ,  アレサンドロ・セサレ・カレガリィ ,  ハワード・マーク・クリアフィールド ,  ファド・エリアス・ドーニィ ,  ドニス・ジョージ・フラゲロ ,  ハロルド・ジョン・ホーベル ,  ダグラス・チャールス・ラツリーペ・ジュニア ,  ナフタリ・エリア・ラスチグ ,  アンドリュー・トーマス・スチュワート・ポメリン ,  サンパス・プラショタマン ,  クリストファ・ミカエル・シェーパーリール ,  ディビッド・マール・シーガー ,  ジーン・マーガレット・シャウ
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 頓宮 孝一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993296206
Publication number (International publication number)：1995242493
Application date： Nov. 26, 1993
Publication date： Sep. 19, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 炭化水素/ヘリウム・プラズマから基板上にダイアモンド状カーボン・フィルムをプラズマ・エンハンスド化学蒸着(PECVD)する改善された方法を提供する。【構成】 プラズマ・エンハンスド化学蒸着装置8により基板15上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着する方法において、炭化水素及びヘリウムのガスを混合し、上記基板15をプラズマ室10に装着し、上記ガスを上記プラズマ室10内に導入して、上記基板15上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着することを含む上記基板15上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着する方法。【効果】 本発明により形成されるフィルムは、熱的に安定であり、光学的に透明であり、堅くそしてアモルファスである。これらの物理的特性を示すこの様なフィルムは、遠紫外線(UV)反射防止被膜として非常に有用である。

Claim (excerpt)：

プラズマ・エンハンスド化学蒸着により基板上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着する方法において、炭化水素及びヘリウムのガスを混合し、上記基板をプラズマ室に装着し、上記ガスを上記プラズマ室内に導入して、上記基板上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着することを含む上記基板上にダイアモンド状カーボン・フィルムを付着する方法。

IPC (8)：

C30B 29/04 ,  C01B 31/06 ,  C23C 8/26 ,  C23C 8/50 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/314 ,  C08J 7/06 ,  G03F 1/08