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J-GLOBAL ID:200903071593426025
位相格子とその作製方法並びに光学式エンコーダ
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
滝本 智之 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995141532
Publication number (International publication number):1996334609
Application date: Jun. 08, 1995
Publication date: Dec. 17, 1996
Summary:
【要約】【目的】 自然放射光に対して0次回折効率を極小とした位相格子及びこの位相格子を用いた高信頼性の光学式エンコーダを提供する。【構成】 光の波長λ、位相格子のピッチ長p、該位相格子の基材の屈折率n、該位相格子の周囲の媒質の屈折率n0、前記凹部の傾斜部の幅に対する格子深さの比である形状比eを用いて、|nーn0|×(pーd'/e)/p×d'=(λ/2)×(1+2m) (但し、m=0、±1、±2、・・・)で算出される深さd'よりも大きな深さの位相格子とする。
Claim (excerpt):
矩形形状の凹部を有する位相格子であって、光の波長λ、位相格子のピッチ長p、該位相格子の基材の屈折率n、該位相格子の周囲の媒質の屈折率n0、前記凹部の傾斜部の幅に対する格子深さの比である形状比eを用いて、|n-n0|×(p-d'/e)/p×d'=(λ/2)×(1+2m) (但し、m=0、±1、±2、・・・)で算出される深さd'よりも大きな格子深さを具備することを特徴とする位相格子。
IPC (2):
FI (2):
Patent cited by the Patent: