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J-GLOBAL ID：200903071602393593

ウエハの裏面研削およびダイシング方法

Inventor： 関田 三郎 ,  吉田 元夫 ,  久保 富美夫 ,  喜田 浩章
Applicant, Patent owner： 株式会社岡本工作機械製作所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999051340
Publication number (International publication number)：2000216123
Application date： Jan. 22, 1999
Publication date： Aug. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】 研削時およびダイシング時において、ウエハの破損の少ないウエハの搬送方法、裏面研削方法、ダイシング方法を提案する。【解決手段】 表面にパターンを形成したウエハのパターン面に、ウエハ径よりも大きいサイズの粘着保護フィルムを貼付し、これをウエハ径よりも大きいサイズの環状フレームに貼着してウエハを環状フレーム内に位置させ、該環状フレームを研削盤のスピンドル軸に軸承されたヘッドにウエハのパターン面がヘッドに接するように取り付け、ついでウエハ裏面を砥石で研削した後、ウエハの研削された面をエッチング処理または研摩して研削により生じた破砕傷をなくし、ついで環状フレームごと粘着保護フィルムに貼付されている厚み30〜80μmのウエハをダイサーのチャック機構にパターン面がチャック機構に相向するように載置し、ついで、ウエハ裏面側よりカッター刃を押しつけて裁断することを特徴とする、ウエハの裏面研削・ダイシング方法。

Claim (excerpt)：

表面にパターンを形成したウエハのパターン面に、ウエハ径よりも大きいサイズの粘着保護フィルムを貼付し、これをウエハ径よりも大きいサイズの環状フレームに貼着してウエハを環状フレーム内に位置させ、該環状フレームを研削盤のスピンドル軸に軸承されたヘッドにウエハのパターン面がヘッドに接するように取り付け、ついでウエハ裏面を砥石で研削した後、ウエハの研削された面をエッチング処理または研摩して研削により生じた破砕傷をなくし、ついで環状フレームごと粘着保護フィルムに貼付されているウエハをダイサーのチャック機構にパターン面がチャック機構に相向するように載置し、ついで、ウエハ裏面側よりカッター刃を押しつけて裁断することを特徴とする、ウエハの裏面研削・ダイシング方法。

IPC (2)：

H01L 21/304 631 ,  H01L 21/301

FI (4)：

H01L 21/304 631 ,  H01L 21/78 M ,  H01L 21/78 Q ,  H01L 21/78 P