電気信号変位変換装置、当該変換装置を用いた機器、および当該変換装置を用いた流体搬送装置の駆動方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中野雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994280094
Publication number (International publication number)：1996114408
Application date： Oct. 18, 1994
Publication date： May. 07, 1996
Summary：

【要約】【構成】開口3を有するフレーム部1の上に帯板状をした動作部2を架け渡し、動作部2の両端をフレーム2に固定して固定部分6とする。動作部2は起歪層4の上下両面に電極層5a,5bを形成したものであって、電極層5a,5b間に電気信号を印加すると、起歪層4に伸張横歪が発生するので、両端を固定された動作部2は座屈し、厚み方向へ変位する。逆に、動作部2に外力が加わると、起歪層4に電気信号が発生する。【効果】この電気信号変位変換装置を用いると、動作部に平行変位する部分を設けることができる。新規な構造の小型軽量のセンサやアクチュエータを製作できる。

Claim (excerpt)：

横歪を発生する少なくとも1層の起歪層を少なくとも2層の電極層により挟んだ構造を有する動作部と、当該動作部を支持するフレーム部とを備え、前記動作部はフレーム部に固定された部分と、フレーム部に固定されていない変位可能な部分とを有し、当該固定部分は当該固定されていない部分の周囲の少なくとも一部において当該固定されていない部分を挟むように配置されていることを特徴とする電気信号変位変換装置。

IPC (11)：

G01B 7/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , G01D 5/18 , G01D 21/00 , G01K 7/00 , G01L 1/16 , G01P 15/09 , H01L 29/84 , H01L 41/09 , H02N 2/00

FI (4)：

G01B 7/18 A , B41J 3/04 103 A , H01L 41/08 M , H01L 41/08 U

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

変位素子、及びこれを用いた検出素子、及びこの検出素子を用いた走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡、情報処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-070128 Applicant：キヤノン株式会社
特開平4-364413
特開昭60-154126

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