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J-GLOBAL ID：200903071649787662

薄膜トランジスタ、パネル及びそれらの製造方法

Inventor： 竹橋 信逸 ,  生田 茂雄 ,  井上 真弓 ,  河北 哲郎 ,  倉増 敬三郎
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 大前 要
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000064305
Publication number (International publication number)：2000349297
Application date： Mar. 09, 2000
Publication date： Dec. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】 特に液晶表示装置用に、性能の優れたLDD型TFTを提供する。【解決手段】 トップゲート型のLDDTFTのゲート電極を化学反応、めっき等を利用して2段構造とし、更に上部若しくは下部が他部に対してソース電極側、ドレイン電極側に少し食み出した形状にする。そして、この構造、形状のもと電極をマスクとして、不純物を注入する。不純物注入前、ゲート絶縁膜を除去したり、稀釈用H2 の侵入防止のためTi膜を形成したりする。ボトムゲート側LDD-TFTにおいても、ほぼ同等にする。

Claim (excerpt)：

基板上に形成されたソース領域、ドレイン領域、ゲート領域を有する半導体層と、ゲート絶縁膜と、ソース電極と、ドレイン電極と、ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極とを有する半導体素子において、上記ゲート電極は、シリサイド薄膜と金属薄膜からなる上下の2層からなり、更に一方の薄膜は他方の薄膜のソース電極側、ドレイン電極側の少くも一方に少し食み出して形成されたLDD形成マスク兼用ゲート電極であり、上記半導体層は、前記LDD形成マスク兼用ゲート電極を注入マスクにして不純物イオンを打ち込まれため、上記シリサイド薄膜及び上記金属薄膜の位置と不純物イオンの打ち込み方向から定まるゲート電極位置対応領域に形成されたLDD領域を有していることを特徴とする半導体素子。

IPC (4)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338

FI (8)：

H01L 29/78 616 A ,  G09F 9/30 338 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 616 L ,  H01L 29/78 616 M ,  H01L 29/78 617 K ,  H01L 29/78 617 L ,  H01L 29/78 617 M

F-Term (107)：

2H092JA25 ,  2H092JA26 ,  2H092JA28 ,  2H092JA34 ,  2H092JA38 ,  2H092JA40 ,  2H092JA44 ,  2H092JB22 ,  2H092JB31 ,  2H092JB56 ,  2H092KA04 ,  2H092KA18 ,  2H092MA01 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA11 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA17 ,  2H092MA25 ,  2H092MA27 ,  2H092MA30 ,  2H092MA41 ,  2H092NA01 ,  2H092NA11 ,  2H092NA22 ,  2H092NA23 ,  2H092NA24 ,  2H092NA29 ,  2H092PA01 ,  2H092PA12 ,  5C094AA13 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA45 ,  5C094CA19 ,  5C094EB05 ,  5C094GB10 ,  5F110AA02 ,  5F110AA03 ,  5F110AA06 ,  5F110AA16 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC08 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE08 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE22 ,  5F110EE23 ,  5F110EE24 ,  5F110EE28 ,  5F110EE33 ,  5F110EE34 ,  5F110EE41 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF02 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG23 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ07 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ30 ,  5F110HK04 ,  5F110HK05 ,  5F110HK21 ,  5F110HK40 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL23 ,  5F110HM12 ,  5F110HM15 ,  5F110NN02 ,  5F110NN04 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ03 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ08 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ12