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J-GLOBAL ID：200903071653436262

表面評価方法および装置、製品製造ライン

Inventor： 佐藤 孝雄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 富田 和子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998003936
Publication number (International publication number)：1999201747
Application date： Jan. 12, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 製品の表面凹凸における傷と面あれとを区別し、客観的且つ定量的に評価する。【解決手段】 物体表面の被測定領域内の複数の点について空間座標を受け付け、点を複数頂点とし互いに重ならない三角形の、その面積に比例した長さを有する法線ベクトルを求め(ステップ1〜5)、該法線ベクトルの集合について、成分ごとに分類し(ステップ6)、分類されたデータを統計処理もしくは解析処理し(ステップ7)、その結果を表面凹凸の指標として出力する(ステップ8)。

Claim (excerpt)：

表面の凹凸形状を評価するための表面評価方法であって、対象とする面上の複数の点における空間座標データを測定し、上記複数の点を結ぶ、互いに交わらない線分により形成される複数の三角形における、各三角形の面積に対応して重み付けられた法線の、方向成分のばらつきを求めることを特徴とする表面評価方法。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  H01L 21/66

FI (3)：

G01B 21/30 Z ,  H01L 21/66 L ,  H01L 21/66 P