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J-GLOBAL ID:200903071692328574
放射線検出装置及びその製造方法
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
山下 穣平
, 志村 博
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003066728
Publication number (International publication number):2004281439
Application date: Mar. 12, 2003
Publication date: Oct. 07, 2004
Summary:
【課題】熱変位によって引き起こされる放射線検出パネルの反りを防ぐ。【解決手段】支持基板101の一方の面に複数の光電変換素子が形成されているセンサパネル100を有する放射線検出装置において、前記センサパネル100の光電変換素子が形成された面側に防湿保護層115が、前記センサパネルの他方の面側に反り矯正層114が積層され、かつ、前記防湿保護層115及び反り矯正層114は、共に延伸又は押し出し方向を有する樹脂フィルムから成り、両樹脂フィルムの延伸又は押し出し方向が同方向となるように貼り合わされている。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
支持基板の一方の面に複数の光電変換素子が形成されているセンサパネルを有する放射線検出装置において、
前記センサパネルの光電変換素子が形成された面側に保護層が、前記センサパネルの他方の面側に反り矯正層が積層され、かつ、前記保護層及び反り矯正層は、共に延伸又は押し出し方向を有する樹脂フィルムから成り、両樹脂フィルムの延伸又は押し出し方向が同方向となるように貼り合わされていることを特徴とする放射線検出装置。
IPC (5):
H01L27/14
, G01T1/20
, G01T1/24
, H01L31/09
, H04N5/32
FI (7):
H01L27/14 D
, G01T1/20 E
, G01T1/20 G
, G01T1/24
, H04N5/32
, H01L27/14 K
, H01L31/00 A
F-Term (46):
2G088EE02
, 2G088EE29
, 2G088GG19
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088JJ10
, 2G088JJ37
, 4M118AA01
, 4M118AA05
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118CA11
, 4M118CA32
, 4M118CB06
, 4M118CB11
, 4M118FB09
, 4M118FB13
, 4M118GA08
, 4M118GA10
, 4M118GB03
, 4M118GB04
, 4M118GB13
, 4M118GB16
, 4M118HA26
, 4M118HA40
, 5C024AX12
, 5C024AX16
, 5C024CY47
, 5C024EX24
, 5C024GX02
, 5F088AB05
, 5F088BA11
, 5F088BA13
, 5F088BA20
, 5F088BB07
, 5F088EA04
, 5F088EA06
, 5F088GA02
, 5F088HA01
, 5F088HA09
, 5F088HA11
, 5F088HA15
, 5F088HA20
, 5F088LA07
, 5F088LA08
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