ダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石井陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998375447
Publication number (International publication number)：2000178738
Application date： Dec. 15, 1998
Publication date： Jun. 27, 2000
Summary：

【要約】【課題】金型、工具等のダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材において、特に高温条件下において、母材とダイヤモンド状炭素膜との密着性を向上させ、その寿命を向上させる。【解決手段】母材とダイヤモンド状炭素膜との間に、下地層および中間層、または、中間層を有し、下地層または中間層の母材に接する界面から5nmまでの平均酸素濃度および/または母材の下地層または中間層に接する界面から5nmまでの平均酸素濃度は3〜50mol%であるダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材とする。

Claim (excerpt)：

母材上にダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材であって、母材上に、周期表第4A族(4族)金属(Ti,Zr,Hf)、周期表第5A族(5族)金属(V,Nb,Ta)および周期表第6A族(6族)金属(Cr,Mo,W)のいずれか一種以上を含有する下地層を有し、この下地層上に、Siを含有する中間層を有し、この中間層上に、ダイヤモンド状炭素膜を有し、前記下地層の前記母材に接する界面から5nmまでの平均酸素濃度および/または前記母材の前記下地層に接する界面から5nmまでの平均酸素濃度が、3〜50mol%であるダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材。

IPC (4)：

C23C 16/27 , B22C 3/00 , B32B 9/00 , C23C 14/06

FI (6)：

C23C 16/26 A , B22C 3/00 E , B32B 9/00 A , C23C 14/06 N , C23C 14/06 B , C23C 14/06 F

F-Term (92)：

4E092AA01 , 4E092AA05 , 4E092AA09 , 4E092GA10 , 4F100AA12C , 4F100AA15C , 4F100AA16D , 4F100AA32C , 4F100AA37B , 4F100AA40C , 4F100AA40D , 4F100AB04A , 4F100AB11D , 4F100AB12C , 4F100AB13C , 4F100AB19C , 4F100AB20C , 4F100AB31A , 4F100AB40A , 4F100AB40C , 4F100AS00B , 4F100AT00A , 4F100BA04 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100GB51 , 4F100JA20B , 4F100JA20D , 4F100JJ03 , 4F100JK09 , 4F100JK10 , 4F100JK12A , 4F100JL11 , 4F100JM02B , 4F100YY00B , 4F100YY00D , 4K029AA02 , 4K029AA04 , 4K029BA02 , 4K029BA07 , 4K029BA11 , 4K029BA16 , 4K029BA17 , 4K029BA31 , 4K029BA35 , 4K029BA41 , 4K029BA52 , 4K029BA54 , 4K029BA55 , 4K029BA56 , 4K029BD05 , 4K029CA03 , 4K029CA05 , 4K029CA06 , 4K029DC03 , 4K029DC05 , 4K029EA00 , 4K029FA05 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA10 , 4K030BA06 , 4K030BA10 , 4K030BA12 , 4K030BA13 , 4K030BA17 , 4K030BA18 , 4K030BA19 , 4K030BA20 , 4K030BA22 , 4K030BA24 , 4K030BA28 , 4K030BA29 , 4K030BA35 , 4K030BA36 , 4K030BA37 , 4K030BA41 , 4K030BA48 , 4K030BA53 , 4K030BA56 , 4K030BA57 , 4K030BB12 , 4K030CA02 , 4K030CA03 , 4K030DA02 , 4K030FA01 , 4K030HA01 , 4K030HA04 , 4K030JA06 , 4K030LA01 , 4K030LA21

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

円筒状部材の内周面への被膜形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-272698 Applicant：シチズン時計株式会社
特開平4-311559
特開平2-054768

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