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J-GLOBAL ID：200903071723647363

走査トンネル顕微鏡の探針移動装置

Inventor： 中本 圭一
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992180472
Publication number (International publication number)：1993346304
Application date： Jun. 15, 1992
Publication date： Dec. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 走査トンネル顕微鏡の探針移動装置を小形化する。【構成】 基台1に支持枠2が取り付けられ、支持枠に第1,第2の圧電素子ユニット3,4が取り付けられている。制御回路11よりの制御信号を駆動電源10に送り、伸縮変形圧電素子3a,4aを縮小させて、探針7を空中に浮かせた瞬間に、探針7を移動させることなく剪断変形圧電素子3b,4bを変形させ、更に伸縮変形圧電素子3cを伸長させて探針の異なった位置を保持し、この状態で剪断変形圧電素子3b,4bを探針の移動の向きに変形させることにより探針を移動させる。

Claim (excerpt)：

剪断変形圧電素子と伸縮変形圧電素子とを積層した圧電素子ユニットと、該圧電素子ユニットの一対を探針を挾持するように探針の上下に対向させて配置するための機構と、前記両圧電素子ユニットの伸縮変形と剪断変形とが同一周期で生じるように前記両圧電素子ユニットを駆動するための駆動手段とを備える走査トンネル顕微鏡の探針移動装置。

IPC (4)：

G01B 7/34 ,  G05D 3/00 ,  H01J 37/28 ,  H02N 2/00