センサおよびこの製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：西川惠清 , 森厚夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004233607
Publication number (International publication number)：2005070038
Application date： Aug. 10, 2004
Publication date： Mar. 17, 2005
Summary：

【課題】欠陥を制御されたナノチューブを含み、物理または化学量を検出するためのセンサの提供。【解決手段】典型的なナノチューブ・センサ19は、信号処理回路21と接続して使用され、この信号処理回路21は、電力を供給し、そしてセンサからの信号を処理して、検出された量に比例した出力を生成する。ナノチューブは、シリコン酸化物などからなるベース・フィルム23上に配置され、ナノチューブの各端に電極25を含む。信号処理回路21は、限定されるものではないがひずみ、圧力、湿度および光などの検出された量を示す出力信号27を供給する。【選択図】図12

Claim (excerpt)：

物理および化学量の少なくとも一つを検出するためのセンサであって、物理および化学量の少なくとも一つに応じて電気的特徴に変化をもたらす、欠陥を制御されたナノチューブを備えることを特徴とするセンサ。

IPC (11)：

G01N27/00 , C01B31/02 , G01B7/16 , G01D21/02 , G01K7/16 , G01K7/34 , G01L1/14 , G01L1/22 , G01N27/04 , G01N27/12 , G01N27/22

FI (16)：

G01N27/00 D , C01B31/02 101F , G01D21/02 , G01K7/16 Z , G01K7/34 , G01L1/14 K , G01L1/22 M , G01N27/04 B , G01N27/04 C , G01N27/12 G , G01N27/12 J , G01N27/12 M , G01N27/12 P , G01N27/22 A , G01B7/18 J , G01B7/22

F-Term (60)：

2F049CA04 , 2F049DA04 , 2F063AA25 , 2F063CA09 , 2F063DA02 , 2F063DA05 , 2F063DD02 , 2F063EC02 , 2F063EC09 , 2F063EC26 , 2F063HA06 , 2F063LA27 , 2F076BA01 , 2F076BD05 , 2F076BD07 , 2F076BD10 , 2F076BD13 , 2F076BD17 , 2F076BE01 , 2F076BE02 , 2F076BE09 , 2G046AA09 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BC05 , 2G046DC14 , 2G046DC16 , 2G046DC17 , 2G046DC18 , 2G046EA02 , 2G046EA04 , 2G046EB07 , 2G046FB00 , 2G046FE03 , 2G046FE38 , 2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AE19 , 2G060AF07 , 2G060AF10 , 2G060AG08 , 2G060AG10 , 2G060BA09 , 2G060BB03 , 2G060BB09 , 2G060DA02 , 2G060DA27 , 2G060HC08 , 2G060HC13 , 2G060HC19 , 2G060HC21 , 2G060HD03 , 2G060JA02 , 4G146AA11 , 4G146AD23 , 4G146AD40 , 4G146BA04 , 4G146CB16

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

導電性粒子-高分子系による歪みセンサ-
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-371503 Applicant：木村豊明, 清水建設株式会社, マルハ株式会社, ミタケ電子工業株式会社, 株式会社フォーライフ

Cited by examiner (1)

ナノセンサ
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2002-549958 Applicant：プレジデント・アンド・フェローズ・オブ・ハーバード・カレッジ

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

格子欠陥を持つナノチューブの電気伝導に関する規則

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