電極基板およびその製造方法ならびに液晶表示素子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：原謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999257572
Publication number (International publication number)：2000148043
Application date： Sep. 10, 1999
Publication date： May. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】導電配線が絶縁層上の透明電極と導電接触するように絶縁層に形成される電極基板の平坦性を高める。【解決手段】透明基板21上において、ストライプ状の導電配線22およびこれら導電配線22間を覆うように感光性樹脂層24を形成した後、導電配線22を覆う感光性樹脂層24の少なくとも一部分を除去する。そして、感光性樹脂層24および導電配線22上に透明導電膜を形成し、この透明導電膜をパターニングして透明電極27...を形成する。このような電極基板では、導電配線22を覆う感光性樹脂層24の除去による導電配線22の露出により上記導電配線22端部周辺部に形成される隆起部の高さと導電配線22が形成されていない部分における感光性樹脂層24のほぼ平坦な表面の高さとの差、並びに、上記隆起部の高さと導電配線22の表面の高さとの差が共に0.11μm以下であれば、高い平坦性を確保することができる。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された複数の導電配線と、上記導電配線間に形成された樹脂膜と、上記導電配線上に形成され、上記導電配線と導電接触する電極膜とを有し、上記導電配線端部周辺部に上記樹脂膜によって形成される隆起部の高さと上記導電配線の形成されていない部分における樹脂膜のほぼ平坦な表面の高さとの差、並びに、上記隆起部の高さと導電配線の表面の高さとの差が共に0.11μm以下であることを特徴とする電極基板。

IPC (2)：

G09F 9/30 337 , G02F 1/1343

FI (2)：

G09F 9/30 337 , G02F 1/1343

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (16)

液晶素子及び該液晶素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-354128 Applicant：キヤノン株式会社
液晶素子及び該液晶素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-059663 Applicant：キヤノン株式会社
配線基板、その製造方法、液晶素子、その製造方法及び配線基板の製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-097635 Applicant：キヤノン株式会社

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