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J-GLOBAL ID：200903071761705776

走査型透過電子顕微鏡

Inventor： 林 聰一郎 ,  明珍 健一
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995033347
Publication number (International publication number)：1996227681
Application date： Feb. 22, 1995
Publication date： Sep. 03, 1996
Summary：

【要約】【構成】透過電子顕微鏡に二つの異なる信号を同時に検出できる検出器と,その両電顕像信号を記憶する手段と記憶した両電顕像信号とを高速に読みだす手段とを、さらに二つのCRTモニタとを備えて、両電顕像を同時にまた静止画像として表示する。【効果】走査型透過電子顕微鏡の試料の同一位置,同一時刻に透過像と回折像の二つの電顕像を同時に観察でき、さらに両電顕像を静止画像として観察できる。

Claim (excerpt)：

一般的な透過電子顕微鏡において、試料に照射する電子ビームをXY方向に走査できる機能を備え、前記試料の透過像信号あるいは回折像信号のいずれかの像信号を検出できる検出器を備えた走査型透過電子顕微鏡において、前記透過像信号と回折像信号とを同時に検出できる検出器を装置に備え、この同一試料の同一位置における同一時刻での二つの異なる電顕像を、同時に観察できるモニタ機能と、同時にコンピュータに記憶する機能と,記憶した電顕像を外部記憶装置やコンピュータに記録する機能と,プリンタに電顕像を出力し記録する機能を備えたことを特徴とする走査型透過電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/22 501 ,  H01J 37/244

FI (2)：

H01J 37/22 501 A ,  H01J 37/244