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J-GLOBAL ID：200903071769604413

磁気記録媒体の配向度評価装置および方法

Inventor： 塩賀 政秀 ,  河尻 浩宣
Applicant, Patent owner： 花王株式会社
Agent (1)： 牛久 健司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994337428
Publication number (International publication number)：1996184559
Application date： Dec. 28, 1994
Publication date： Jul. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 磁気記録媒体の表面部分の配向度を評価する。【構成】 半導体レーザ13からの出射光Riを偏光板14においてp偏光にする。磁気記録媒体10の長手方向とp偏光とされた出射光Riが同一平面内となるように,ステージ15上に媒体10を置く。媒体10へのp偏光された出射光Riの照射,フォトダイオード22による反射光Rrの受光を,入射角度βを変えて繰返す。反射光強度と入射角度βとの関係から第1の複素誘電率ε0 を算出する。媒体10の長手方向と垂直方向とp偏光とされた出射光Riが同一平面内となるように,ステージ15を90°回転させ,同じようにして第2の複素誘電率εs を算出する。第1の複素誘電率ε0 の虚数部εj0と第2の複素誘電率εs の虚数部εjsとの差が大きいほど配向度が高いと評価する。

Claim (excerpt)：

被検査物である磁気記録媒体の表面に直交し,かつ互いに直交する2つの平面を設定し,一方の平面内において上記磁気記録媒体へ光ビームを照射し,上記磁気記録媒体からの反射光を受光し,光ビームの照射と受光とを入射角度を変えて繰返し,受光した反射光の反射光強度と反射光強度が得られたときの入射角とにもとづいて,上記一方の平面に平行な方向における磁気記録媒体の第1の複素誘電率を算出し,上記平面のうち他方の平面内において上記磁気記録媒体へ光ビームを照射し,上記磁気記録媒体からの反射光を受光し,光ビームの照射と受光とを入射角度を変えて繰返し,受光した反射光の反射光強度と反射光強度が得られたときの入射角とにもとづいて,上記他方の平面に平行な方向における磁気記録媒体の第2の複素誘電率を算出する,磁気記録媒体の配向度評価方法。

IPC (4)：

G01N 21/41 ,  G01N 21/47 ,  G01R 33/12 ,  G11B 5/84