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J-GLOBAL ID：200903071773919640

接着装置

Inventor： 赤池 正剛 ,  布施 俊博
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 山下 穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994229471
Publication number (International publication number)：1996097110
Application date： Sep. 26, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】 接着面の全面に渡って一様な応力で接着し、平板同士の接着を全面に渡って可能にする。【構成】 基板1が載置される可撓性膜7と、該可撓性膜7に流体圧力を作用させる手段とを備え、該可撓性膜に生じた圧力で該基板1と接着すべき他の基板4とを加圧することによって、基板1,4同士を接着させてなる接着装置。

Claim (excerpt)：

基板が載置される可撓性膜と、該可撓性膜に流体圧力を作用させる手段とを備え、該可撓性膜に生じた圧力で該基板と接着すべき他の基板とを加圧することによって、基板同士を接着させてなる接着装置。

IPC (2)：

H01L 21/02 ,  H01L 27/12