Pat
J-GLOBAL ID：200903071777243306
短冊状ワ-クのへき開装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992256782
Publication number (International publication number)：1994112313
Application date： Sep. 25, 1992
Publication date： Apr. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】へき開及び検査を自動的に且つ高速に行うことが可能なへき開装置を提供することにある。【構成】バ-トレイ45上に並べられた結晶バ-1を取出して所定位置に搬送するとともに、結晶バ-1からへき開されたチップ3...をチップトレイ46上に整列させるトランスファユニット15と、結晶バ-1を位置決めするとともにカッタ29を揺動させながら結晶バ-1に当ててワ-ク3...をへき開するカッティングユニット16と、チップ3...の像を取込む顕微鏡ユニット17と、バ-トレイ45を交換位置と搬送位置とに移動させるとともに、チップトレイ46を複数備えてこれらチップトレイ46を切換えるトレイ案内ユニット18とを具備した。
Claim (excerpt)：
短冊状のワ-クをへき開してチップを作成する短冊状ワ-クのへき開装置において、上記チップを画像認識して上記チップの欠陥を検出する欠陥検出手段と、適正なチップを取出してチップトレイ上に整列するチップ整列手段とを具備した短冊状ワ-クのへき開装置。
IPC (3)：
H01L 21/78
, H01L 21/66
, H01S 3/18
