Pat
J-GLOBAL ID：200903071798371843
透明性化合物、透明性樹脂およびこの透明性樹脂を用いた感光性樹脂組成物並びにこの感光性樹脂組成物を用いた半導体装置の製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
宮田 金雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998113503
Publication number (International publication number)：1999222460
Application date： Apr. 23, 1998
Publication date： Aug. 17, 1999
Summary：
【要約】【課題】 ArFエキシマレーザ等の短波長領域に高い透明性と高い感光性並びに十分なドライエッチング耐性を有した感光性樹脂組成物を得る。【解決手段】 感光性樹脂組成物は下記一般式(1)または(2)で示される化合物と、【化1】二重結合を有するカルボン酸とを強酸中で反応させて得た重合可能な化合物を含有した透明性樹脂と、光または放射線の照射により酸を発生する化合物とを含有する。
Claim (excerpt)：
下記一般式(1)または一般式(2)で示される化合物と、【化1】カルボン酸とを強酸中で反応させて得た透明性化合物。
IPC (12)：
C07C 69/54
, C08F 20/10
, C08F 22/10
, C08K 5/10
, C08L 33/04
, C08L 35/02
, C09D133/04
, C09D135/02
, G03F 7/004 503
, G03F 7/038 505
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
C07C 69/54 B
, C08F 20/10
, C08F 22/10
, C08K 5/10
, C08L 33/04
, C08L 35/02
, C09D133/04
, C09D135/02
, G03F 7/004 503
, G03F 7/038 505
, G03F 7/039 501
, H01L 21/30 502 R
