Pat

J-GLOBAL ID：200903071809440478

ガラスのエッチング処理方法

Inventor： 西沢 学 ,  櫛谷 英樹 ,  中尾 泰昌
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993146899
Publication number (International publication number)：1994340448
Application date： May. 26, 1993
Publication date： Dec. 13, 1994
Summary：

【要約】【構成】エッチングに際し、フッ酸系エッチング液、無機酸、アルカリおよび有機酸からなる群から選ばれる少なくとも1種のエッチング液により前エッチングすることを特徴とするガラスのエッチング処理方法。【効果】デバイス作製のエッチング工程においてガラスに生じるヘイズを減らすエッチング処理方法として好適である。

Claim (excerpt)：

ガラスをエッチングする際に、フッ酸系エッチング液、無機酸、アルカリおよび有機酸からなる群から選ばれる少なくとも1種のエッチング液により前エッチングすることを特徴とするガラスのエッチング処理方法。