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J-GLOBAL ID:200903071811233048

レーザーアブレーション装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998002816
Publication number (International publication number):1999201945
Application date: Jan. 09, 1998
Publication date: Jul. 30, 1999
Summary:
【要約】【課題】 プラズマ点灯時に試料セルの蓋を開けてもキャリアガスの流量及び圧力が変化せず、かつ、試料セル内に空気が流入しないレーザーアブレーション装置を提供する。【解決手段】キャリアガスを供給するキャリアガス口とパージガスを供給するパージガス口とを備えると共に、高周波誘導結合型プラズマを用いた分析装置に試料を供給するレーザーアブレーション装置において、キャリアガス口から試料セル内を経由してトーチ側へキャリアガスが流れるようにしたモードと、キャリアガス口から試料セル内を経由せずにトーチ側へキャリアガスが流れると共に、パージガス口から試料セル内にパージガスが別途供給されるようにしたモードとが、お互いに切り替わるようにした。
Claim (excerpt):
キャリアガスを供給するキャリアガス口とパージガスを供給するパージガス口とを備えると共に、高周波誘導結合型プラズマを用いた分析装置に試料を供給するレーザーアブレーション装置において、キャリアガス口から試料セル内を経由してトーチ側へキャリアガスが流れるようにしたモードと、キャリアガス口から試料セル内を経由せずにトーチ側へキャリアガスが流れると共に、パージガス口から試料セル内にパージガスが別途供給されるようにしたモードとが、お互いに切り替わるようにしたことを特徴とするレーザーアブレーション装置。
IPC (2):
G01N 27/62 ,  H01J 49/04
FI (2):
G01N 27/62 F ,  H01J 49/04

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