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J-GLOBAL ID：200903071816608074

光学デバイスおよびその製造方法

Inventor： 梅木 和博 ,  佐藤 昌仙
Applicant, Patent owner： リコー光学株式会社
Agent (1)： 樺山 亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993306793
Publication number (International publication number)：1995159604
Application date： Dec. 07, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】高温の熱処理を行わずに、所望の凸曲面を持った光学デバイスを製造できる、光学デバイスの製造方法を実現する。【構成】デバイス材料1の表面に形成された可塑性材料層に、光学デバイスの形状に応じたパターンをパターニングして、上記パターンに従うレリーフ状の可塑性材料パターン2を得、可塑性材料パターン2に高圧力を流体圧として作用させることにより、可塑性材料パターン2の表面を、1以上の滑らかな凸曲面形状2Aとし、可塑性材料とデバイス材料とに対してドライエッチングを行って、凸曲面形状2Aをデバイス材料1に彫り写し、デバイス材料1に1以上の所望の凸曲面形状を形成する。

Claim (excerpt)：

デバイス材料の表面に形成された可塑性材料層に、光学デバイスの形状に応じたパターンをパターニングして、上記パターンに従うレリーフ状の可塑性材料パターンを得るパターニング工程と、上記可塑性材料パターンに高圧力を流体圧として作用させることにより、上記可塑性材料パターンの表面を、1以上の滑らかな凸曲面形状とする加圧工程と、上記可塑性材料とデバイス材料とに対してドライエッチングを行って、上記凸曲面形状を上記デバイス材料に彫り写し、デバイス材料に1以上の所望の凸曲面形状を形成するエッチング工程とを有する、光学デバイス製造方法。

IPC (5)：

G02B 3/00 ,  B29C 69/00 ,  B29D 11/00 ,  G02B 6/122 ,  B29L 11:00