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J-GLOBAL ID：200903071822119697
静電式アクチュエータ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松崎 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992023024
Publication number (International publication number)：1993220680
Application date： Feb. 10, 1992
Publication date： Aug. 31, 1993
Summary：
【要約】【目的】 超小型の静電式アクチュエータにおいて、大きな変位量を得られるようにする。【構成】 ガラス基板5に固定部材1と、複数の歯7を持ち1対の支持部材2A,2Bにより固定部材1に結合される可動部材4と、これに係合する板ばね8を持ち可動部材4を変位させる第1,第2の駆動部材31A,31B,32A,32Bとを配置し、これらの駆動部材と可動部材との間の静電力を利用して可動部材を1方向に変位させる。
Claim (excerpt)：
固定部材と、複数の歯を持ち1対の支持部材を介して前記固定部材と結合される可動部材と、この可動部材に係合する板ばねを持ちこれを変位させる1対の第1,第2駆動部材とを基板上に配置し、この第1,第2駆動駆動部材と前記可動部材との間の静電力を利用して可動部材を1方向に変位させることを特徴とする静電式アクチュエータ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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