Pat
J-GLOBAL ID：200903071843021549
塗布膜の乾燥方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993295234
Publication number (International publication number)：1995147220
Application date： Nov. 25, 1993
Publication date： Jun. 06, 1995
Summary：
【要約】【目的】 基板等の表面の塗布膜の剥がれを防止する乾燥方法を提供する。【構成】 膜形成成分を含む溶液を含有する溶液を基板表面に回転塗布して膜を形成し(ステップ101)、基板に塗布膜を形成した後(ステップ102)、この基板を減圧雰囲気のもとに常温乾燥し(ステップ103)、ついでベーク乾燥を行い(ステップ105)、ガス抜けの悪い表層が形成されないようにする。
Claim (excerpt)：
膜形成成分を含む溶液を含有する溶液を物体表面に塗布して膜を形成し、この膜を強制的に乾燥させるための乾燥方法であって、前記物体表面に前記膜を形成後、これを減圧雰囲気のもとに常温乾燥し、ついで加熱乾燥を行うことを特徴とする塗布膜の乾燥方法。
IPC (2)：
H01L 21/027
, G03F 7/16 502
