Pat
J-GLOBAL ID：200903071843218016
半導体加速度センサ
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997059525
Publication number (International publication number)：1998253656
Application date： Mar. 13, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：
【要約】【課題】 小型で2軸の加速度を検出可能な加速度センサを提供する。【解決手段】センサ素子を機械的手法により、加速度を受ける面に対し側面に検出部を作製する手法で、拡散抵抗を左右加速度検出用、上下加速度検出用をブリッジ回路で結線することにより、容易に作製できるようにし、低価格の加速度センサを供給できるようにした。
Claim (excerpt)：
物理量変化を検出する感歪み部を有する基体と、前記基体の少なくとも一端を固定するための支持体と、前記基体と支持体が接続手段により接続された半導体加速度センサにおいて、前記感歪部に二方向の加速度を検出するための検出機能を同一面に有する構造を特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01P 15/12
, H01L 29/84 A
