Pat

J-GLOBAL ID：200903071875019090

研磨工具

Inventor： 小池 栄二郎
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993012096
Publication number (International publication number)：1994226612
Application date： Jan. 28, 1993
Publication date： Aug. 16, 1994
Summary：

【要約】【構成】本発明の研磨工具は、弾性変形自在な可撓性の研磨体を介して研磨するとともに、この研磨体に超音波振動を印加するようにしたものである。【効果】上記構成の研磨工具は、被加工物の大きなうねり(低周波成分)はもとより小さな凹凸(高周波成分)に対してもムラなく忠実になじんで研磨残りなく被加工面全面を確実に研磨することが可能なる。

Claim (excerpt)：

回転駆動される棒状の本体部と、液密膜状の弾性体及びこの弾性体の外側に接着された研磨布からなり且つ上記本体部の先端部に固着されて袋状をなす密閉空間を形成する研磨部と、上記密閉空間に流体を供給して上記研磨部を膨脹させる流体供給部と、上記研磨部に超音波振動を印加する超音波印加部とを具備することを特徴とする研磨工具。

IPC (4)：

B24B 13/01 ,  B24B 1/04 ,  B24B 19/08 ,  B24D 17/00