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J-GLOBAL ID：200903071876545802

高さ測定方法及び装置

Inventor： 高橋 文之 ,  塚原 博之 ,  西山 陽二 ,  布施 貴史
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 石川 泰男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994297703
Publication number (International publication number)：1996159719
Application date： Nov. 30, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 測定光がバンプに照射されるときのみ測定光の光量を変化させることが可能な高さ測定装置及び方法を提供する。【構成】 バンプ2の高さを測定すべき主測定光9bを照射する前に、当該バンプ2に対して参照測定光9aを照射し、バンプ2からの反射参照測定光10aの光強度に基づいて主測定光9bがバンプ2に照射される時にのみ主測定光9bの強度を変化させる。また、複数の走査に対応する参照測定光9aを照射し、その反射光に基づいて主測定光9bの光強度を変化させる。バンプ2からの反射主測定光10bの強度が増強されるので、バンプ2からの反射光の光量と、ICチップ1からの反射光の光量との差を少なくすることができ、反射光の光量の差が撮像装置7のダイナミックレンジを超えることがなく、正確な高さ測定ができる。

Claim (excerpt)：

測定基準面上に複数配置された測定対象物に対して測定光を所定方向に走査しつつ照射し、一回の走査毎に走査位置を前記所定方向とは直交する方向にステップ的に移動し、順次走査を行って、前記測定対象物上の測定点から前記測定基準面上の基準点までの高さを測定する高さ測定装置であって、理想的な前記測定点である理想測定点上を通過する理想走査位置を仮定した場合に、前記理想走査位置に至る前に走査すべき走査位置のうちの一の走査位置である予め設定した所定の参照走査位置における前記測定対象物からの前記測定光の反射光を受光し、当該反射光に対応する反射光信号を出力する反射光検出手段と、前記反射光信号に基づいて、前記理想測定点を含む前記測定対象物上の所定の領域からの前記測定光の反射光の光量と前記測定基準面からの前記測定光の反射光の光量との差が所定範囲内となるとともに、前記所定の領域からの前記測定光の反射光の光量及び前記測定基準面からの前記測定光の反射光の光量が測定可能光量となるように前記所定の領域内における前記測定光の光強度及び前記所定の領域以外の領域における前記測定光の光強度を制御する光強度制御手段と、を備えることを特徴とする高さ測定装置。