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J-GLOBAL ID：200903071878186478

位置検出装置

Inventor： 北野 博 ,  片又 義之 ,  浜島 洋一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 田辺 恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993052953
Publication number (International publication number)：1994241722
Application date： Feb. 18, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】本発明は、位置検出装置において、画像処理して取り込んだ信号の波形がアライメントマークのマーク数と異なる場合でも信号処理によつてアライメントマークの位置を検出する。【構成】パラメータとしてマークの数又はマークの2倍の数に応じて得られるべき信号の波数を予め設定し、取り込んだ信号の波数がパラメータに応じた値のとき、信号に基づいてアライメントマークの位置を検出し、信号の波数がパラメータに応じた値以外のとき、パラメータをマークの2倍の数又はマークの数に応じて得られるべき信号の波数に再設定し、取り込んだ信号の波数が再設定されたパラメータに応じた値のとき、信号に基づいてアライメントマークの位置を検出するようにした。

Claim (excerpt)：

基板上に矩形形状のマークを複数並べて形成されたアライメントマークに照明光を照射し、該反射光によつて得られる画像を前記マークの並び方向に抽出して得られる信号に基づいて、前記アライメントマークの位置を検出する位置検出装置において、パラメータとして前記マークの数又は前記マークの2倍の数に応じて得られるべき前記信号の波数を予め設定するパラメータ設定手段と、前記信号の波数が前記パラメータに応じた値のとき、前記信号に基づいて前記アライメントマークの位置を検出する第1の信号処理手段と、前記信号の波数が前記パラメータに応じた値以外のとき、前記パラメータを前記マークの2倍の数又は前記マークの数に応じて得られるべき前記信号の波数に再設定するパラメータ再設定手段と、前記信号の波数が再設定された前記パラメータに応じた値のとき、前記信号に基づいて前記アライメントマークの位置を検出する第2の信号処理手段とを具えることを特徴とする位置検出装置。

IPC (6)：

G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/70 350 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68