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J-GLOBAL ID：200903071886522460
エネルギスペクトル測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岡田 和秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992221684
Publication number (International publication number)：1994066745
Application date： Aug. 20, 1992
Publication date： Mar. 11, 1994
Summary：
【要約】【目的】 XPS等のエネルギスペクトル測定装置において、常に適切な測定条件が自動的に設定されるようにして、分析時の手間を省くとともに、分析精度および分析効率の向上を図る。【構成】 所定のエネルギ範囲を走査して得られるエネルギスペクトルの中から決定した特定元素に関するエネルギスペクトルについて、そのピーク強度、ピーク強度とバックグラウンドとの比、バックグラウンドの変動量等の各判定要素を算出する算出手段16と、この算出手段16の各判定要素に基づいてエネルギスペクトルの質を決定し、このエネルギスペクトルの質に適合したエネルギ走査の繰り返し回数、データ取り込み時間等の測定条件を決定する測定条件決定手段18とを備える。
Claim (excerpt)：
所定のエネルギ範囲を走査して得られたエネルギスペクトルの中から決定した特定元素に関するエネルギスペクトルについて、そのピーク強度、ピーク強度とバックグラウンドとの比、バックグラウンドの変動量等の各判定要素を算出する算出手段と、この算出手段の各判定要素に基づいてエネルギスペクトルの質を決定し、このエネルギスペクトルの質に適合したエネルギ走査の繰り返し回数、データ取り込み時間等の測定条件を決定する測定条件決定手段と、を備えることを特徴とするエネルギスペクトル測定装置。
IPC (2)：
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