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J-GLOBAL ID：200903071893271295

液晶表示装置とその製造方法

Inventor： 西川 龍司
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 西野 卓嗣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993214087
Publication number (International publication number)：1995064111
Application date： Aug. 30, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 遮光膜をTFT基板側に形成したアクティブマトリクス型の液晶表示装置において、遮光膜のエッジ部をテーパー状にすることにより、極端な段差をなくし、断線や段切れを防止して、歩留まりを向上する。【構成】 遮光膜として、Cr(11)上にCrNXの(21)を形成した2層膜とし、CrNX/Crのエッチングレート比が2以上のウエットエッチングで、開口部を除去することにより、エッジ部をテーパー加工して上記目的を達成する。

Claim (excerpt)：

透明な絶縁性基板上に、マトリクス状の開口部以外の領域に設けられた遮光膜と、該遮光膜を被覆する絶縁膜と、該絶縁膜上の前記開口部に対応する領域に設けられた表示電極と、該表示電極の行間に設けられたゲートラインと、該表示電極の列間に設けられたドレインラインと、前記ゲートラインとドレインラインの交差部に設けられ、前記表示電極に信号を供給する薄膜トランジスタを有する液晶表示装置であって、前記遮光膜は、エッジ部の断面がテーパー形状になっていることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (2)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1335

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平1-123217
  
• 液晶表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-129624   Applicant：新日本製鐵株式会社