固体撮像装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松田正道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000107029
Publication number (International publication number)：2000357786
Application date： Apr. 07, 2000
Publication date： Dec. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】従来、マイクロレンズ上に封止樹脂が充填された固体撮像装置では、集光効率が悪かった。【解決手段】光を受光するフォトダイオード14と、フォトダイオード14の上に配置され樹脂から形成された屈折率n3のマイクロレンズ4と、マイクロレンズ4の上に形成された屈折率n2の薄膜レンズ3と、薄膜レンズ3の上に形成された屈折率n1の封止樹脂2と、封止樹脂2の上に形成された封止樹脂2を封止するためのカバーガラス1とを備え、薄膜レンズ3の屈折率n2を、n1およびn3よりも小さい屈折率とする。ここで、n1とn3の値は実質上同一であるとし、薄膜レンズ3を、フッ化物および/または酸化物から形成する。

Claim (excerpt)：

光を受光する受光部と、前記受光部の上に形成された、所定の第1屈折率を有するマイクロレンズと、前記マイクロレンズの上に形成された薄膜レンズと、前記薄膜レンズの上に形成された、所定の第2屈折率を有する樹脂部とを備え、前記薄膜レンズの屈折率は、前記第1屈折率および前記第2屈折率よりも小さい屈折率であり、前記薄膜レンズの材料は無機材料である、ことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3)：

H01L 27/14 , G02B 3/00 , H04N 5/335

FI (4)：

H01L 27/14 D , G02B 3/00 A , H04N 5/335 V , H04N 5/335 U

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平3-230567
特開平4-259256
光電変換装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-160566 Applicant：株式会社東芝

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