固体撮像装置とその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：船橋國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996116196
Publication number (International publication number)：1997027608
Application date： May. 10, 1996
Publication date： Jan. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】中空パッケージ構造を採ることなく、モールドパッケージ構造を採用することのできるマイクロレンズ構造を有した、固体撮像装置とその製造方法の提供が望まれている。【解決手段】光電変換を行う受光部3と、受光部3の受光面3aを覆うことなく設けられた遮光膜8とを備えた固体撮像装置11である。受光面3aを覆ってこれと反対の側に凹となる凹レンズ12aを有した第一の透明材料からなる透明レンズ層12が設けられている。透明レンズ層12上には、第一の透明材料より高い屈折率を有する第二の透明材料からなり、少なくともその最上面が平坦化されてなる透明平坦化層13が透明レンズ層12に接して設けられている。また、この固体撮像装置11の製造方法。

Claim (excerpt)：

光電変換を行う受光部と、該受光部の受光面を覆うことなく設けられた遮光膜とを備えた固体撮像装置において、前記受光部の受光面を覆って、該受光面と反対の側に向かって凹となる凹レンズを有した第一の透明材料からなる透明レンズ層を設け、該透明レンズ層上に、前記第一の透明材料より高い屈折率を有する第二の透明材料からなり、少なくともその最上面が平坦化されてなる透明平坦化層を前記透明レンズ層に接して設けたことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (4)：

H01L 27/14 , G02B 3/00 , H01L 27/148 , H04N 5/335

FI (4)：

H01L 27/14 D , G02B 3/00 A , H04N 5/335 V , H01L 27/14 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開平4-068570
固体撮像装置用マイクロレンズの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-355369 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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