超純水製造用膜分離装置の洗浄装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：内山充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007161033
Publication number (International publication number)：2007229718
Application date： Jun. 19, 2007
Publication date： Sep. 13, 2007
Summary：

【課題】シリコンウェーハ、システムLSIなどの製造工場などで使用される超純水中へのアミンの溶出を効果的に防止し、純度の極めて高い超純水を安定して供給することができる超純水製造用膜分離装置の洗浄装置を提供する。【解決手段】膜分離装置の給水入口と脱着可能な連結部を有する洗浄水供給配管、膜分離装置の透過水出口と脱着可能な連結部を有する透過水排出配管、膜分離装置の濃縮水出口と脱着可能な連結部を有する濃縮水排出配管を有し、洗浄水供給配管に弁と流量調整手段が、透過水排出配管に弁が、濃縮水排出配管に弁がそれぞれ設けられるとともに、洗浄水供給配管に分岐して弁を有するブロー水配管が接続されてなることを特徴とする超純水製造用膜分離装置の洗浄装置。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

膜分離装置の給水入口と脱着可能な連結部を有する洗浄水供給配管、膜分離装置の透過水出口と脱着可能な連結部を有する透過水排出配管、膜分離装置の濃縮水出口と脱着可能な連結部を有する濃縮水排出配管を有し、洗浄水供給配管に弁と流量調整手段が、透過水排出配管に弁が、濃縮水排出配管に弁がそれぞれ設けられるとともに、洗浄水供給配管に分岐して弁を有するブロー水配管が接続されてなることを特徴とする超純水製造用膜分離装置の洗浄装置。

IPC (1)：

B01D 65/02

FI (1)：

B01D65/02

F-Term (17)：

4D006GA02 , 4D006HA03 , 4D006HA21 , 4D006HA41 , 4D006HA61 , 4D006HA77 , 4D006JA52Z , 4D006JA55Z , 4D006KA67 , 4D006KC02 , 4D006MA01 , 4D006MA02 , 4D006MA03 , 4D006MA04 , 4D006PA01 , 4D006PB02 , 4D006PC02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

逆浸透膜および逆浸透膜分離素子の処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-228752 Applicant：東レ株式会社
特開平4-305231号公報

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