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J-GLOBAL ID：200903071919757680

固体環状ガス放電電極

Inventor： ジョージ・エヌ・スタインバーグ
Applicant, Patent owner： ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995265165
Publication number (International publication number)：1996195386
Application date： Oct. 13, 1995
Publication date： Jul. 30, 1996
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、非常に高速度のエッチングを行うことができて通常の電極の腐食効果を示さないウェハエッチングシステムで使用するガス放電装置を提供することを目的とする。【解決手段】 ハウジング12と、このハウジング12に取付けられている環状電極11と、環状電極11の外周面に対向して隣接して設けられた不活性外側煙突13と、環状電極11の内周面に対向して隣接して設けられた不活性内側煙突14とを備え、これら煙突13, 14の表面によって環状電極11により生じるガス放電が限定され、さらに、ハウジング12に取付けられて内側煙突14内に環状電極11と同心に配置された絶縁体15を具備し、この絶縁体は開口16を有し、その開口16を通ってエッチングガス流が放射方向で対称な流動パターンで導入されることができることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ハウジングと、ハウジングに取付けられている予め定められた外側直径と予め定められた内側直径を有する環状電極と、環状電極の外周面に対向して隣接して配置されている不活性外側煙突と、環状電極の内周面に対向して隣接して配置されている不活性内側煙突とを具備し、内側および外側煙突は環状電極から生じるガス放電をその表面で限定しており、さらに、ハウジングに取付けられ、環状電極に関して同心に内側煙突内に配置されている絶縁体を具備し、この絶縁体は開口を有し、その開口を通ってエッチングガス流が放射方向で対称な流動パターンを発生することを可能にしていることを特徴とするエッチング装置で使用されるガス放電装置。

IPC (2)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00