赤外線センサおよびその作製方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木弘男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994110763
Publication number (International publication number)：1995318420
Application date： May. 25, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：

【要約】【目的】受光部に入射する赤外線はもちろん受光部の周囲から入射する赤外線も効率的に吸収することができる高感度の赤外線センサおよびその作製方法を提供すること。【構成】基板1の表面に感温薄膜2が形成され、且つ該感温薄膜の裏側の基板の一部が除去されて空洞6となり、感温薄膜2の表裏の両側に赤外線吸収薄膜4、12が形成されている。これにより受光部の表面より入射した赤外線を感温薄膜2の表裏の両赤外線吸収薄膜4、12で吸収し、かつ、受光部の周囲に入射した赤外線も感温薄膜2の基板壁面10および基板底面11で反射し感温薄膜2の裏側の赤外線吸収薄膜12により吸収する。

Claim (excerpt)：

基板の表面に感温薄膜が形成され、且つ該感温薄膜の裏側の基板の一部が除去されて空洞となっている赤外線センサにおいて、前記感温薄膜の表裏の両側に赤外線吸収薄膜が形成されていることを特徴とする赤外線センサ。

IPC (4)：

G01J 1/02 , G01J 5/02 , G01J 5/20 , H01L 37/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特表平7-509057
特表平7-500913
特開昭62-119419

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