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J-GLOBAL ID:200903071936106862
水晶ブランクの検査方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
油井 透 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998036318
Publication number (International publication number):1999230913
Application date: Feb. 18, 1998
Publication date: Aug. 27, 1999
Summary:
【要約】【課題】 水晶ブランクの傷やベベリング状態の検査を画一的にではなく、多様的に行えるようにする。【解決手段】 水晶ブランクを検査するに際して水晶ブランク1のブランク面の画像を複数の領域に分割し、領域に要求される検査基準を領域ごとに設定し、設定された検査基準により各領域を検査する。水晶ブランク1が短冊状のブランクである場合において、ブランク1の四隅のコーナー領域Dと、コーナー領域Dを除いたブランク1の上下辺と平行で上下辺を一辺とする一対の帯状の上下領域Aと、コーナー領域Dを除いたブランク1の左右辺と平行で左右辺を一辺とする一対の帯状の左右領域Bと、上下領域Aおよび左右領域Bに囲まれた中央領域Cとに分割するとよい。
Claim (excerpt):
水晶基板を検査するに際して水晶基板の基板面の画像を複数の領域に分割し、前記領域に要求される検査基準を前記領域ごとに設定し、設定された検査基準により各領域を検査するようにした水晶基板の検査方法。
IPC (2):
FI (2):
G01N 21/88 D
, G06F 15/62 405 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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透明基板の傷検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-102559
Applicant:ジーフォース株式会社
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平面型表示パネル検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-173387
Applicant:シャープ株式会社, 株式会社エー・ディー・エス
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半導体素子の欠陥検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-340576
Applicant:ソニー株式会社
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異物検査装置及び半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-297408
Applicant:セイコーエプソン株式会社
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