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J-GLOBAL ID：200903071960416945

光ディスク原盤用露光装置

Inventor： 長井 忠一 ,  小林 俊裕 ,  大森 健
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994217290
Publication number (International publication number)：1996083442
Application date： Sep. 12, 1994
Publication date： Mar. 26, 1996
Summary：

【要約】【目的】 ガラス基板に感光層を設けた光ディスク原盤にレーザースポットで露光するに際し、光ディスクの半径方向にずれたピット(偏向したピット)を形成するのに適した装置を提供する。【構成】 光偏向器を通した後のビームを分割し、一方を対物レンズに、もう一方をビーム位置検出器に導く構造とした装置。

Claim (excerpt)：

ガラス基板上に感光層を設けた光ディスク原盤に対物レンズで絞った微小レーザービームスポットをビーム移動方向に対してずれた方向に偏向させながら照射するための光学系を備えた光ディスク原盤用露光装置において、光偏向器を通過した後のビームをビーム分割手段で分けた一方を対物レンズに導き、もう一方をビーム位置検出器で検出することによりビームの偏向量を対物レンズ以前で測定することを特徴とする光ディスク原盤用露光装置。

IPC (4)：

G11B 7/26 501 ,  G11B 7/00 ,  G11B 7/09 ,  G11B 7/135