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J-GLOBAL ID：200903071961194881

化学蒸着からの銅膜堆積のための銅化合物の溶液およびその合成方法

Inventor： ヒュン-クック・シン
Applicant, Patent owner： ローム アンド ハース カンパニー
Agent (1)： 千田 稔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999266649
Publication number (International publication number)：2000169966
Application date： Sep. 21, 1999
Publication date： Jun. 20, 2000
Summary：

【要約】【課題】 化学蒸着からの銅膜堆積のための銅化合物の溶液およびその合成方法を提供する。【解決手段】 式【化1】〔式中、Rは水素、フッ素、パーフルオロアリール、または炭素数1〜4のアルキルまたはパーフルオロアルキル基;R1およびR2は、炭素数1〜7のアルキルまたはパーフルオロアルキル基からそれぞれ独立して選択され;およびLは、非共有電子対を銅中心金属に提供することができる有機化合物または有機金属化合物から選択されるルイス塩基である。〕の有機金属化合物;および1以上のルイス塩基、1以上のルイス酸またはこれらの混合物から選択される溶媒を含む蒸着先駆物質組成物が開示される。

Claim (excerpt)：

式【化1】〔式中、Rは水素、フッ素、パーフルオロアリール、または炭素数1〜4のアルキルまたはパーフルオロアルキル基;R1およびR2は、炭素数1〜7のアルキルまたはパーフルオロアルキル基からそれぞれ独立して選択され;およびLは、非共有電子対を銅中心金属に提供することができる有機化合物または有機金属化合物から選択されるルイス塩基である。〕の有機金属化合物;および1以上のルイス塩基、1以上のルイス酸またはこれらの混合物から選択される溶媒を含む蒸着先駆物質組成物。

IPC (2)：

C23C 16/18 ,  C07F 1/08

FI (2)：

C23C 16/18 ,  C07F 1/08 B