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J-GLOBAL ID：200903071970103961
荷電粒子ビーム露光装置の収束データ作成方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岡本 啓三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992186966
Publication number (International publication number)：1994036998
Application date： Jul. 14, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明は荷電粒子ビーム露光装置の収束データ作成方法に関し、ビームビーム収束手段のレンズ強度を最適に調整して、所定矩形サイズの荷電粒子ビームをビーム整形手段の開口面上に正確に結像すること、及び、その電流密度の分布特性の平坦化をして該荷電粒子ビームを可変縮小した場合であっても、高精度,高解像度の露光処理を行うことを目的とする。【構成】 第1の矩形サイズの荷電粒子ビーム11Aを第2の矩形サイズ〔縦×横〕に可変整形した状態又は該第1の矩形サイズの荷電粒子ビーム11Aを限りなく縮小した状態で第2のビーム整形手段13Bを通過させ、かつ、第1のビーム収束手段14Aの収束強度Lを変化させながら、各収束強度毎に、複数の矩形サイズに対して試料上に到達するビーム電流iの測定処理をし、荷電粒子ビーム11Aの矩形サイズの変化に対する諸評価値α〔K〕又はβ〔θ〕に基づいて最適な収束強度Lの抽出処理をすることを含み構成する。
Claim (excerpt)：
少なくとも、荷電粒子ビーム(11A)の矩形サイズを可変整形する第1,第2のビーム整形手段(13A,13B)と、前記荷電粒子ビーム(11A)を収束する第1,第2のビーム収束手段(14A,14B)と、前記荷電粒子ビーム(11A)に係るビーム電流(i)を測定する測定手段(17)とを具備した荷電粒子ビーム露光装置の収束データ作成方法において、前記第1のビーム整形手段(13A)を通過した第1の矩形サイズの荷電粒子ビーム(11A)を第2のビーム整形手段(13B)に基づいて第2の矩形サイズ(〔縦×横〕)に可変整形した状態又は該第1の矩形サイズの荷電粒子ビーム(11A)を限りなく縮小した状態で通過させ、かつ、第1のビーム収束手段(14A)の収束強度(L)を変化させながら、各収束強度毎に、複数の矩形サイズに対して試料上に到達するビーム電流(i)の測定処理をし、前記荷電粒子ビーム(11A)の矩形サイズの変化に対する諸評価値(α〔K〕又はβ〔θ〕)に基づいて最適な収束強度(L)の抽出処理をすることを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置の収束データ作成方法。
IPC (2)：
H01L 21/027
, H01J 37/305
Cited by examiner (5)
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