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J-GLOBAL ID:200903071992879734
II-VI族化合物半導体装置およびその製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
野河 信太郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994053589
Publication number (International publication number):1995263372
Application date: Mar. 24, 1994
Publication date: Oct. 13, 1995
Summary:
【要約】【目的】 接触抵抗の小さい電極構造を有するII-VI族化合物半導体装置を得ること。【構成】 p型ZnXMg1-XSYSe1-Y(0≦X≦1、0≦Y≦1)半導体層を有し、該半導体層上に半導体層を構成する元素とCd、TeまたはHgである添加物元素との化合物からなる中間層が形成され、該中間層上にNi、PtまたはPdを含んでなる電極層が形成されていることを特徴とするII-VI族化合物半導体装置及びその製造方法。【効果】 得られるII-VI族化合物半導体装置はオーミック接触が可能である。
Claim (excerpt):
p型ZnXMg1-XSYSe1-Y(0≦X≦1、0≦Y≦1)半導体層を有し、該半導体層上に半導体層を構成する元素とCd、TeまたはHgである添加物元素との化合物からなる中間層が形成され、該中間層上にNi、PtまたはPdを含んでなる電極層が形成されていることを特徴とするII-VI族化合物半導体装置。
IPC (3):
H01L 21/28 301
, H01L 21/363
, H01S 3/18
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