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J-GLOBAL ID：200903071997016246

位相シフト干渉縞同時撮像装置における平面形状計測方法

Inventor： 川崎 和彦 ,  配野 宏
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000197484
Publication number (International publication number)：2002013907
Application date： Jun. 30, 2000
Publication date： Jan. 18, 2002
Summary：

【要約】【課題】 位相シフト干渉縞同時撮像装置において、3つの分枝位相シフト干渉縞の観測領域内の各点におけるバイアス、振幅が互いに異なっていても、高精度に解析できる位相シフト干渉縞画像を得ることができる平面形状計測方法を得るにある。【解決手段】 分枝位相シフト干渉縞のバイアスと振幅値と分枝ごとに観測される参照光を観測領域内の各点において予め計測し、計測によって得られたバイアスと振幅の値と参照光画像データを用いて、以後の被検面計測時に得られる分枝位相シフト干渉縞画像データに対し輝度変換を施してバイアス、振幅の整合を観測領域内の各点ごとに行なうことで、位相シフト干渉縞同時計測装置の大幅な高精度化を図る。

Claim (excerpt)：

レーザ光源からのコヒーレント光束を参照面と被検面に照射し、前記参照面及び前記被検面のそれぞれからの反射光である参照光と試料光の偏光面を偏光光学素子を介在させて互いに直交させることにより、光学的無干渉状態となした原光束を生成する観測光学系と、前記原光束を複数に分光した分枝原光束に分け、前記分枝原光束のそれぞれに偏光光学素子を介して異なる固定的光学位相差を与えた複数の分枝位相シフト干渉縞を発生させ、前記被検面の観測範囲にある一つの位置がそれぞれの分枝観測座標系において同一位置になるよう位置の整合させ、分枝光束ごとに設けられた撮像装置でこれらの干渉縞に対応する画像データを取得し、前記被検面の観測範囲の平面起伏形状を位相シフト法を用いて数値データとして再現させる位相シフト干渉縞同時撮像装置において、前記参照光と前記試料光との間に相対的な光学的位相差を別途与えたときに前記各撮像装置で得られる分枝ごとの位相シフト干渉縞画像データから算出した分枝ごとのバイアスと振幅と、試料光がない状態で各分枝ごとに得られる分枝参照光画像データとを用いて平面起伏形状計測時の分枝ごとの位相シフト干渉縞画像データを輝度変換して、観測領域内の各点におけるバイアスと振幅を整合調整し、位相シフト法により干渉縞の各点ごとの位相算出を行うことを特徴とする位相シフト干渉縞同時撮像装置における平面形状計測方法。

IPC (3)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/245

FI (4)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D ,  G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 N

F-Term (34)：

2F064AA09 ,  2F064FF01 ,  2F064GG13 ,  2F064GG22 ,  2F064GG32 ,  2F064GG38 ,  2F064GG44 ,  2F064GG52 ,  2F064GG53 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD07 ,  2F065EE00 ,  2F065FF49 ,  2F065FF51 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065GG23 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL33 ,  2F065LL36 ,  2F065LL46 ,  2F065LL47 ,  2F065NN06 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42