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J-GLOBAL ID：200903072003453177

プラズマ被膜表面仕上げの方法及び装置

Inventor： フォーンセル, ペーター ,  ブスケ, クリスチャン ,  ハルトマン, ウーヴェ ,  バールマン, アルフレッド ,  エリンゴウスト, ガイド ,  ビシング, クラウス-ディー.
Applicant, Patent owner： プラズマトリート ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ,  フラウンホーファー-ゲゼルシャフト ツァー フェルデルング デア アンゲヴァンテン フォーシャング アインゲトラーゲナー フェアアイン
Agent (1)： 前田 均 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001535626
Publication number (International publication number)：2003514114
Application date： Mar. 17, 2000
Publication date： Apr. 15, 2003
Summary：

【要約】【解決手段】プラズマにより前駆体材料に反応を生じさせて、反応生成物を表面(34)に堆積させ、大気圧において反応と共に堆積を生じさせる被膜表面仕上げの方法であって、作動ガスが励起区域(12)を通過することにより、プラズマジェット(28)が発生し、前記前駆体材料が分離して前記作動ガスから前記プラズマジェットに供給される被膜表面仕上げの方法。

Claim (excerpt)：

プラズマにより前駆体材料に反応を生じさせて、反応生成物を表面(34)に堆積させ、大気圧において反応と共に堆積を生じさせる被膜表面仕上げの方法であって、 作動ガスが、励起区域(12)を通過することにより、プラズマジェット(28;28’;28’’)が発生し、 前記前駆体材料が、前記作動ガスから独立して、前記プラズマジェットに供給される被膜表面仕上げの方法。

IPC (6)：

C23C 4/12 ,  B05C 9/12 ,  B05D 3/04 ,  H05H 1/30 ,  H05H 1/34 ,  H05H 1/42

FI (6)：

C23C 4/12 ,  B05C 9/12 ,  B05D 3/04 C ,  H05H 1/30 ,  H05H 1/34 ,  H05H 1/42

F-Term (9)：

4D075AA01 ,  4D075BB49Z ,  4D075BB57Z ,  4F042DA05 ,  4F042DD36 ,  4F042DD38 ,  4K031CB51 ,  4K031DA04 ,  4K031EA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-252567
  
• 特開平3-068469
  
• 特表平4-502937
  
• アルミニウム継手の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-034854   Applicant：スルザーメテコジャパン株式会社