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J-GLOBAL ID：200903072012360815

ガスセンサ

Inventor： 森田 恭弘 ,  中村 健一 ,  金 哲
Applicant, Patent owner： 東京瓦斯株式会社
Agent (1)： 鈴木 弘男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995316841
Publication number (International publication number)：1997159633
Application date： Dec. 05, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ガス濃度を求めるための理論的な演算式を適用できる理想的な特性を有するガスセンサを提供すること。【解決手段】 基板上にガスセンサ8を作製した後、容器6内において、水素を含有する気体中でガスセンサ8に熱処理を施すようにした。

Claim (excerpt)：

半導体を用いたガスセンサにおいて、基板上の絶縁層上に形成したガス感応膜であるゲート電極を加工し、前記絶縁層が部分的に露出するようにしたことを特徴とするガスセンサ。