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J-GLOBAL ID：200903072052865472

強靱性複合多層被覆工具

Inventor： 園部 勝 ,  加藤 範博 ,  安岡 学
Applicant, Patent owner： 株式会社不二越
Agent (1)： 河内 潤二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998032334
Publication number (International publication number)：1999222665
Application date： Jan. 30, 1998
Publication date： Aug. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高速度工具鋼および超硬合金を基材とする工具の表面にTiAl系高硬度硬質複合被膜の最適な多層膜を形成し、靱性、耐摩耗性を向上する。【解決手段】 被覆膜の多層構成を10層〜30層、被覆膜の全体の膜厚2.0〜10μm、最下層を被覆膜構成が炭素原子比率=C/(C+N)=tとして膜厚が0.2μm〜1.0μmのTiN又はTiCN(0≦t≦0.2)層、第2層をAl原子比率=Al/(Ti+Al)=uとして、膜厚0.1〜0.5μmの第1層と異なる結晶配向のTiAlCN(0.25≦u≦0.55、0≦t≦0.7)層、第3層を膜厚が0.1〜0.5μmの第1層と同層とし、これを交互に8層以上積層し最上層を、膜厚0.2μm〜1.0μmのTiAlCN(0.25≦u≦0.55、0≦t≦0.7)又は、0.2〜2μmのTi<SB>x </SB>N<SB>y </SB>(0.2<y/x<0.7)とする。

Claim (excerpt)：

高速度工具鋼および超硬合金を基材とする工具において次の(a)及び(b)及び(c)の条件を満足させたことを特徴とする強靭性複合多層被覆工具。(a)被覆膜の成分がTi,Al,C,Nよりなる複合膜である。(b)膜の多層構成が10層以上の構造からなり、被覆膜の全体の膜厚が2.0〜10μmであり、その被覆膜の構成が炭素原子比率=C/(C+N)=tとして膜厚が0.2μm〜1.0μmのTiNまたはTiCN(0≦t≦0.2)の均一組織を前記基材に接する最下層として第1層に成膜し、さらにAl原子比率=Al/(Ti+Al)=uとして、膜厚が0.1〜0.5μmの、第1層とは結晶配向の異なるTiAlCN(0.25≦u≦0.55、0≦t≦0.7)を第2層として積層し、ふたたび第3層として、膜厚が0.1〜0.5μmの前記第1層の成分の膜を積層し、この操作を交互に繰り返すことにより第1層の成分と第2層の成分からなる8層以上の多層膜を被覆する。(C)(b)の多層構成の最上層は、膜厚が0.2μm〜1.0μmのTiAlCN(0.25≦u≦0.55、0≦t≦0.7)を、あるいは0.2〜2μmのTi<SB>x </SB>N<SB>y </SB>(0.2<y/x<0.7)を積層して、全体の層数が10層〜30層であることを特徴とする。

IPC (2)：

C23C 14/06 ,  B23B 27/14

FI (4)：

C23C 14/06 A ,  C23C 14/06 H ,  C23C 14/06 P ,  B23B 27/14 A