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J-GLOBAL ID:200903072062980199

X線発生装置の駆動方法及びX線回折装置の駆動方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 横川 邦明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993229509
Publication number (International publication number):1995065990
Application date: Aug. 23, 1993
Publication date: Mar. 10, 1995
Summary:
【要約】【目的】 X線発生装置内で異常放電があってもエージング処理を継続できるようにし、さらにX線回折測定を継続させると共に測定データの信頼性を向上させる。【構成】 フィラメント3とターゲット4との間に流れる管電流の大きさを検出する。ケーシング2内で放電があると、検出される管電流値が設定値を越える。このとき、フィラメント加熱用電流及び管電圧を一旦下げ、その後、フィラメント加熱用電流及び管電圧を設定値まで時間をかけてゆっくりと上昇させる。これにより、エージング処理を中断することなく、しかも放電が引き続いて発生するのを防止できる。X線回折測定の最中にX線発生装置内で放電があったときは、管電流値が設定値を越えたときに、回折X線図形の非データ化処理又はゴニオ回転角度をバックさせて再測定を行う。
Claim (excerpt):
フィラメントを加熱するための加熱用電流をそのフィラメントに流し、フィラメントとターゲットとの間に管電圧を印加し、フィラメントから放射された電子をターゲットに衝突させることによってそのターゲットからX線を発生させるX線発生装置の駆動方法において、(a)フィラメントとターゲットとの間に流れる管電流の大きさを検出し、(b)その管電流値が設定値を越えたときに加熱用電流及び/又は管電圧を下げ、(c)その後、加熱用電流及び/又は管電圧を設定値まで所定の立ち上げ時間をかけてゆっくりと上昇させることを特徴とするX線発生装置の駆動方法。
IPC (3):
H05G 1/54 ,  G01N 23/20 ,  H05G 1/26
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
  • 特開平3-210799
  • 特開平2-005398
  • 特開昭58-209898
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