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J-GLOBAL ID：200903072076571313

投影光学系

Inventor： 須藤 武司 ,  市原 裕
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996193744
Publication number (International publication number)：1998039208
Application date： Jul. 23, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】難しくなってゆく部材製造や光学系の調整を容易化すること。【解決手段】屈折部材からなり物体面を結像面へ投影する投影光学系に於いて、該投影光学系を構成する光学部材のうち少なくとも1つの光学部材を強制的に変形させ、前記投影光学系全体で発生する収差を補償する。また、反射鏡を含み物体面を結像面へ投影する投影光学系に於いて、該投影光学系を構成する光学部材のうち少なくとも1つの光学部材を強制的に変形させ、前記投影光学系全体で発生する収差を補償する。

Claim (excerpt)：

屈折部材からなり物体面を結像面へ投影する投影光学系に於いて、該投影光学系を構成する光学部材のうち少なくとも1つの光学部材を強制的に変形させ、前記投影光学系全体で発生する収差を補償する投影光学系。

IPC (5)：

G02B 13/24 ,  G02B 17/08 ,  G02B 27/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G02B 13/24 ,  G02B 17/08 A ,  G02B 27/18 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 517