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J-GLOBAL ID：200903072087956080

感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品

Inventor： 大江 匡之 ,  布村 昌隆 ,  安斎 隆徳 ,  藤枝 永敏
Applicant, Patent owner： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
Agent (1)： 高田 幸彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000364142
Publication number (International publication number)：2002169283
Application date： Nov. 30, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：

【要約】【課題】本発明は、感度が高く、パターンの形状や未露光部の残膜率も良好なポジ型の感光性重合体組成物、前記の組成物の使用により、解像度が高く、良好な形状のパターンが得られるパターンの製造法及び信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】(a)一般式(I)【化1】(式中、Uは4価の有機基を示し、Vは2価の有機基を示す)で表される繰り返し単位を有するアルカリ水溶液可溶性のポリアミド、(b)光により酸を発生する化合物、並びに、(c)分子中に2個以上のアシルオキシメチル基とフェノール性水酸基とを有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品。

Claim (excerpt)：

(a)一般式(I)【化1】(式中、Uは4価の有機基を示し、Vは2価の有機基を示す)で表される繰り返し単位を有するアルカリ水溶液可溶性のポリアミド、(b)光により酸を発生する化合物、並びに、(c)分子中に2個以上のアシルオキシメチル基とフェノール性水酸基とを有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物。

IPC (9)：

G03F 7/037 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/03 ,  C08K 5/134 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (9)：

G03F 7/037 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/03 ,  C08K 5/134 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 Z ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (29)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025CB24 ,  2H025CC20 ,  4J002CL071 ,  4J002EB116 ,  4J002EB118 ,  4J002EJ067 ,  4J002EQ016 ,  4J002EQ036 ,  4J002EV077 ,  4J002EV227 ,  4J002EV296 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03 ,  5F058AC06 ,  5F058AC07 ,  5F058AC10 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02 ,  5F058AH03