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J-GLOBAL ID：200903072126098584

半導体集積回路装置およびその製造方法

Inventor： 村田 龍紀 ,  中村 貴弘 ,  鈴木 康道
Applicant, Patent owner： 株式会社ルネサステクノロジ
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003005825
Publication number (International publication number)：2004221242
Application date： Jan. 14, 2003
Publication date： Aug. 05, 2004
Summary：

【課題】SRAMメモリセルを構成する縦型MISFET間の埋め込み特性を向上させる。【解決手段】横型の駆動MISFETおよび転送MISFETの上部に縦型MISFETを形成する際、Y方向(Y-Y’)においては狭いピッチで配置され、X方向(X-X’)においては広いピッチで配置される、下部半導体層57、中間半導体層58、上部半導体層59および窒化シリコン膜62を有する柱状の積層体(P1、P2)と、この積層体の側壁にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極66との上部に、被覆性の良い第1絶縁膜(O3-TEOS)70aを堆積し、狭ピッチ間を完全に埋め込んだ後、第1絶縁膜70aの上部に第2絶縁膜(HDP酸化シリコン膜)70bを堆積する。その結果、アスペクト比の大きい縦型MISFETの狭ピッチ部においても絶縁膜の埋め込み特性が良くなる。【選択図】 図23

Claim (excerpt)：

(a1)その上部および下部にそれぞれ第1および第2半導体領域を有する柱状の積層体と、 (a2)前記柱状の積層体の側壁に第1絶縁膜を介して形成された導電性膜と、 を有する縦型MISFETを複数有し、 前記複数の縦型MISFETの前記柱状の積層体および前記導電性膜は、 (b1)第1方向に第1距離離間して配置され、 (b2)第2方向に前記第1距離より大きい第2距離離間して配置され、 前記複数の縦型MISFETの前記柱状の積層体の少なくとも一定の高さまでにおいて、 (c1)前記柱状の積層体の前記第1方向の隙間には、第2絶縁膜が形成され、 (c2)前記柱状の積層体の前記第2方向の隙間には、前記第2絶縁膜およびその上部の第3絶縁膜が形成されていることを特徴とする半導体集積回路装置。

IPC (6)：

H01L21/8244 ,  H01L21/316 ,  H01L21/768 ,  H01L21/8234 ,  H01L27/088 ,  H01L27/11

FI (4)：

H01L27/10 381 ,  H01L21/316 M ,  H01L27/08 102E ,  H01L21/90 M

F-Term (119)：

5F033HH04 ,  5F033HH11 ,  5F033HH19 ,  5F033HH21 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ04 ,  5F033JJ05 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ33 ,  5F033JJ34 ,  5F033KK19 ,  5F033KK25 ,  5F033KK33 ,  5F033KK34 ,  5F033LL04 ,  5F033MM01 ,  5F033MM02 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033NN37 ,  5F033NN38 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033QQ01 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ16 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ28 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ35 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ74 ,  5F033QQ76 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR11 ,  5F033RR14 ,  5F033RR15 ,  5F033SS04 ,  5F033SS11 ,  5F033SS12 ,  5F033SS13 ,  5F033SS15 ,  5F033SS25 ,  5F033SS27 ,  5F033TT02 ,  5F033TT07 ,  5F033TT08 ,  5F033VV04 ,  5F033VV16 ,  5F033WW00 ,  5F033WW01 ,  5F033WW03 ,  5F033WW04 ,  5F033XX01 ,  5F033XX02 ,  5F033XX03 ,  5F033XX28 ,  5F048AA01 ,  5F048AB01 ,  5F048AC01 ,  5F048BA01 ,  5F048BA19 ,  5F048BB05 ,  5F048BB08 ,  5F048BC06 ,  5F048BD07 ,  5F048BF06 ,  5F048BF11 ,  5F048BF15 ,  5F048BF16 ,  5F048BG13 ,  5F048CB01 ,  5F048CB06 ,  5F048CB07 ,  5F048CB10 ,  5F058BC02 ,  5F058BD01 ,  5F058BD02 ,  5F058BD04 ,  5F058BF04 ,  5F058BF07 ,  5F058BH20 ,  5F058BJ06 ,  5F083BS02 ,  5F083BS05 ,  5F083BS17 ,  5F083BS27 ,  5F083BS40 ,  5F083GA27 ,  5F083JA19 ,  5F083JA32 ,  5F083JA33 ,  5F083JA35 ,  5F083JA37 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA53 ,  5F083JA56 ,  5F083LA01 ,  5F083LA28 ,  5F083MA05 ,  5F083MA06 ,  5F083MA19 ,  5F083NA01 ,  5F083PR01 ,  5F083PR12 ,  5F083PR21