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J-GLOBAL ID：200903072147589928
物体検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
梶原 康稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996119727
Publication number (International publication number)：1997280954
Application date： Apr. 17, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：
【要約】【課題】 短時間で2値レチクル内のシフタの全領域の位相差量の欠陥を検査すし、露光に支障を来たす異物の検出を位相差量欠陥の検査と同時に行う。【解決手段】 照明手段から供給された光のうち、ポラライザ(10),1/4波長板(12)によって位相差が調整された2つの光(EO,OE)は、その光軸がノマルスキープリズム(14)によってを相対的にシャーし、コンデンサレンズ(16)で屈折して観察物体に照射される。物体を透過した光は、対物レンズ(18)を透過し、ノマルスキープリズム(20)によって合成され、ハーフミラー22で分割されて偏光ビームスプリッタ24,28に入射する。これにより、複数の干渉成分が取り出され、該当する2つの干渉像の2乗と、他の干渉像を利用した演算が行われて、物体の検査が行われる。
Claim (excerpt)：
物体を照明するための光を供給する照明手段;これによって供給された光のうち、直交する第1及び第2の偏光方向の光の位相差を調整するための位相差調整手段;これによって位相差が調整された第1の偏光方向の光と第2の偏光方向の光の光軸を相対的にシャーして観察対象の物体に照射する光分離手段;物体を透過又は反射した前記第1の偏光方向の光と第2の偏光方向の光を合成する光合成手段;この光合成手段から供給された光から、第1の方向,第2の方向,これら第1又は第2のいずれかと平行な第3の方向において可干渉な偏光成分をそれぞれ取り出して、第1,第2及び第3の干渉像を得るためのフィルタ手段;これによって得られた前記第1,第2及び第3の干渉像を利用して検査対象を検査する検査手段;を備えたことを特徴とする物体検査装置。
IPC (5)：
G01J 4/04
, G01B 11/30
, G01N 21/21
, G01N 21/88
, G02B 21/00
G01J 4/04 A
, G01B 11/30 D
, G01N 21/21 Z
, G01N 21/88 E
, G02B 21/00
